NS系列探針式臺階儀應用場景適應性強,其對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求,可測量沉積薄膜的臺階高度、抗蝕劑(軟膜材料)的臺階高度等。
NS系列高重復性大量程臺階儀臺階高度重復性能低于5A,Z0向測量量程可到1050um。最高垂直分辨率可達亞埃米級,且垂直方向動態(tài)比率高,可以獲取表面輪廓形貌、粗糙度、波紋度、形狀誤差及其它一些形貌特征等綜合信息。探針物理接觸測量結果穩(wěn)定可靠,重復性好,精準拿捏測量的輪廓形貌細節(jié)。
中圖儀器NS系列探針式電池薄膜臺階厚度儀應用場景適應性強,其對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求,可測量沉積薄膜的臺階高度、抗蝕劑(軟膜材料)的臺階高度等。
NS系列薄膜臺階測厚儀應用場景適應性強,其對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求,可測量沉積薄膜的臺階高度、抗蝕劑(軟膜材料)的臺階高度等。
NS系列半導體臺階高度測量儀器可精準測量臺階高度(納米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等參數)、膜層厚度及應力分布,為材料研發(fā)、工藝優(yōu)化與質量管控提供可靠數據支持。廣泛應用于半導體、光伏、MEMS、光學加工等領域。
NS系列半導體臺階儀應用場景適應性強,其對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求,可測量沉積薄膜的臺階高度、抗蝕劑(軟膜材料)的臺階高度等。